在過去的幾年中，數(shù)碼顯微鏡已被證明可用于微電子行業(yè)中的檢查，質(zhì)量控制和保證（QC/QA）和故障分析（FA），特別是對(duì)于印刷電路板（PCB）。最近，最先進(jìn)的改進(jìn)使數(shù)碼顯微鏡在檢查方面更加強(qiáng)大和實(shí)用，從而帶來了更高效的工作流程。在此，說明了某些數(shù)碼顯微鏡功能的優(yōu)點(diǎn)，例如，用于操作和分析的直觀軟件，更改放大倍數(shù)的快速簡便的方法以及用于可靠調(diào)用參數(shù)的編碼。
為什么要用數(shù)碼顯微鏡檢查？
數(shù)碼顯微鏡是沒有目鏡的光學(xué)顯微鏡。圖像可以直接在電子顯示器上觀察到。LeicaDVM6數(shù)碼顯微鏡為用戶提供了一種更輕松，更快速的方式來記錄高質(zhì)量，可靠的圖像數(shù)據(jù)并進(jìn)行快速分析，從而在檢查微電子零件時(shí)提高了效率。
數(shù)碼顯微鏡的哪些功能可導(dǎo)致可靠的分析和更高的工作流程效率？
Leica徠卡顯微鏡DVM6的多種功能使其易于使用，并使檢查和分析工作流程更加高效：
用于顯微鏡操作和數(shù)據(jù)分析的直觀軟件；
在整個(gè)范圍（12：1至2,350：1）上更改放大倍率的高效，簡單方法；
對(duì)重要參數(shù)進(jìn)行編碼（自動(dòng)跟蹤和存儲(chǔ)），例如載物臺(tái)，光學(xué)，照明和攝像機(jī)設(shè)置，以便隨時(shí)快速調(diào)用；
快速簡便的顯微鏡頭傾斜和樣品旋轉(zhuǎn)；
集成的LED（發(fā)光二極管）環(huán)形燈和同軸照明可實(shí)現(xiàn)多種對(duì)比度；
具有快速實(shí)時(shí)圖像和10MP分辨率的高性能數(shù)碼相機(jī)；和軟件啟用/支持的捕獲模式，例如XY和XYZ拼接以及高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）等。
本報(bào)告討論了上述前三點(diǎn)如何促進(jìn)更快，更可靠的工作流程。有關(guān)后四個(gè)方面的更多詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱這篇有關(guān)PCB快速可靠檢查的文章。
快速簡便的設(shè)置和入門
在操作徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡只需要一個(gè)電源線和連接到運(yùn)行徠卡應(yīng)用套件X（電腦USB電纜LASX）軟件。物鏡到位后，LeicaDVM6準(zhǔn)備執(zhí)行檢查，QC/QA和FA。最大工作距離為60mm，樣品臺(tái)行程范圍為70×50mm，最大樣品重量為2kg。
使用直觀的軟件進(jìn)行測量，分析和操作
為了使用數(shù)碼顯微鏡實(shí)現(xiàn)更快，更可靠的檢查，QC和FA工作流程，具有多種功能的直觀軟件包可用于顯微鏡控制，簡單而靈活的圖像采集以及樣品分析。例如，與LeicaDVM6一起使用的軟件LeicaApplicationSuiteX（LASX）可為多個(gè)不同用戶使用同一顯微鏡的情況提供多個(gè)用戶配置文件的存儲(chǔ)。LAS的Z堆棧功能X使用戶能夠在一個(gè)樣本特征或整個(gè)樣本本身的定義Z范圍內(nèi)，在各種焦平面上記錄圖像。擴(kuò)展景深（EDOF）模式可提供多焦點(diǎn)圖像，而無需設(shè)置開始或結(jié)束級(jí)別。Z-stack和EDOF均可快速創(chuàng)建和分析樣品的3D地形表面。
此外，使用LASX軟件，用戶可以為大型XY掃描選擇不同的模式，例如“標(biāo)記并查找”，“平鋪掃描”和“螺旋掃描”。還可以使用針對(duì)XY（2D圖像），Z（3D圖像）和XYZ（擴(kuò)展區(qū)域上的3D圖像）的交互式模式“實(shí)時(shí)圖像生成器”。
大范圍內(nèi)的快速倍率變化
徠卡顯微鏡DVM6的物鏡可在儀器操作過程中快速輕松地更換，基本上不會(huì)增加工作流程。此在線視頻顯示了切換目標(biāo)有多么簡單。
有3種平場復(fù)消色差物鏡（在紅色，綠色和藍(lán)色波長上進(jìn)行色校正，在整個(gè)視場上進(jìn)行平整度校正）（低，中和高倍率）。還有16：1集成變焦光學(xué)元件，用戶可以使用它實(shí)現(xiàn)12：1至2,350：1的總放大倍率（根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO/DIN18221，建議使用27英寸（69厘米）對(duì)角線顯示器顯示）。變焦光學(xué)器件可與3個(gè)物鏡一起工作，以實(shí)現(xiàn)低，中和高放大倍率，從而可以在整個(gè)范圍內(nèi)連續(xù)更改放大倍率。
必須記住，數(shù)碼顯微鏡的最終放大倍率將取決于用于圖像顯示的監(jiān)視器尺寸。如上所述，建議LeicaDVM6與27英寸（69厘米）對(duì)角線顯示器一起使用。下圖顯示了使用LeicaDVM6在低，中和高倍率下使用低，中和高物鏡獲取的電子傳感器的圖像。
LeicaDVM6數(shù)碼顯微鏡的編碼參數(shù)
具有與計(jì)算機(jī)軟件直接通信以允許自動(dòng)跟蹤和保存特定參數(shù)的硬件的儀器稱為“編碼”設(shè)備。編碼對(duì)于快速調(diào)用數(shù)據(jù)采集期間存儲(chǔ)的參數(shù)和設(shè)置非常有用。編碼對(duì)于可重現(xiàn)性和可靠性非常重要，并且有助于提高工作流程的效率。
對(duì)于LeicaDVM6，通過LASX軟件對(duì)物鏡和變焦光學(xué)器件，相機(jī)像素分辨率，樣品臺(tái)位置和旋轉(zhuǎn)角度（無論是手動(dòng)移動(dòng)還是機(jī)動(dòng)移動(dòng)），顯微鏡頭傾斜角度和照明系統(tǒng)設(shè)置進(jìn)行編碼和存儲(chǔ)。下面顯示了在LeicaDVM6操作期間對(duì)其中一些參數(shù)進(jìn)行編碼的示例。
結(jié)論
LeicaDVM6數(shù)碼顯微鏡可實(shí)現(xiàn)微電子零件（例如印刷電路板（PCB））的更高效，可靠的檢查，質(zhì)量控制和保證（QA/QC）和故障分析（FA）。這里討論了它的三個(gè)好處：具有許多功能的直觀軟件，可進(jìn)行顯微鏡操作，圖像捕獲和數(shù)據(jù)分析；在從12：1到2,350：1的整個(gè)范圍內(nèi)快速改變放大倍率的便捷方法；所有重要參數(shù)和設(shè)置（光學(xué)，相機(jī)，載物臺(tái)，頭部和照明）的編碼和編碼，以便于快速調(diào)用。這些功能使LeicaDVM6用戶可以進(jìn)行更快，更可靠的數(shù)據(jù)采集和分析，從而提高檢查，質(zhì)量控制和FA工作流程的效率。
