分析探針臺T2000

    顯微鏡成像系統技術參數：

    ●無限遠光學系統，管鏡焦距200mm

    ●鉸鏈式三目鏡筒，30°傾斜，瞳距55-75mm

    ●高眼點，大視場目鏡WF10X/25

    ●長工作距離，平場復消色差物鏡2X/0.055,5X/0.14,10X0.28,20X/0.29,50X/0.42

    ●五孔物鏡轉換器，物鏡螺紋M26X0.706

    ●同軸粗微調焦機構，微動格值0.002mm

    ●100W鹵素燈光纖照明

    ●1800萬象素高清數碼成像采集系統

    ●imageAnalysisSyste11.0專業的圖像預覽分析軟件

    探針臺部分技術參數：

    ?尺寸:500mmW*500mmD*700mmH

    ?6"卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品，均獨立控制，中心吸附孔最小可以選擇250微米

    ?卡盤平整度:5μm,標準卡盤可360度無間隙旋轉

    ?卡盤旋轉微調+-15°,調節精度0.1°

    ?卡盤微調升降，行程4mm,精度1微米

    ?卡盤X/Y軸無間隙移動，采用大手柄旋轉控制，行程：6英寸X6英寸，移動精度：1um，并帶鎖死裝置

    ?可調節顯微鏡在X-Y平面2"x2"范圍內移動,精度1微米（系統不包含顯微鏡）

    ?可調節顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡，帶自動鎖定功能

    ?平臺快速升降行程6mm并帶自動鎖定功能

    ?平臺上下微調行程25mm，升降精度1um

    ?平臺可升降調節適合加裝探針卡，便于針卡重定位